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開放特許

触媒による炭化水素の熱分解促進を利用した大気圧DLC

組織名 国立大学法人 電気通信大学 電子工学科 田中 勝己 教授
技術分野 ものづくり、環境/有機化学/無機化学

 触媒により炭化水素ガスの熱分解を促進し、金属などに炭化水素膜(DLC)を成膜する技術を確立しました。1)真空チャンバ・プラズマ発生装置を使用しないため低コストです。2)炭化水素の成分比によってDLCの硬さや滑らかさを調節できます。3)円筒内部など3次元形状にも選択的に成膜可能です。4)大量処理が可能なため、量産性に優れています。5)密着性に優れています。本技術の実用化を希望する企業を歓迎します。

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